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Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces
9782746208179
Jean-Claude Sabonnadière, Michel De Labachelerie, René Le Doeuff, Jean-Pierre Goure, Jean-Louis Aucouturier, Joseph Bore Hermes Science Publications - 10/04/2004 105,00 €